Título

Diseño e implementación de un sistema de análisis de películas delgadas en frecuencias de microondas usando microscopio de fuerza atómica y analizador de redes vectorial

Design and implementation of a microwave system for thin-film analysis using atomic-force microscope and vector-network analyzer

Autor

ULISES AUGUSTO PONT DE LA TORRE

Colaborador

Humberto Lobato Morales (Asesor de tesis)

EDUARDO ANTONIO MURILLO BRACAMONTES (Asesor de tesis)

Nivel de Acceso

Acceso Abierto

Licencia

http://creativecommons.org/licenses/by/4.0

Materias

RF, microondas, permitividad, microscopio de fuerza atómica, películas delgadas - (AUTOR) RF, microwave, permittivity, atomic force microscopy, thin films. - (AUTOR) INGENIERÍA Y TECNOLOGÍA - (CTI) CIENCIAS TECNOLÓGICAS - (CTI) OTRAS ESPECIALIDADES TECNOLÓGICAS - (CTI) OTRAS - (CTI) OTRAS - (CTI)

Resumen o descripción

En este reporte de tesis se presenta la implementación de un sistema de microscopía de microondas utilizando un Microscopio de Fuerza Atómica (AFM por sus siglas en inglés) y un Analizador de Redes Vectorial (VNA por sus siglas en inglés). Se diseñaron y fabricaron sondas resonantes y no resonantes que terminan en una punta conductiva, y que operan a frecuencias que van desde 500 MHz hasta 6 GHz utilizando únicamente las pérdidas por reflexión. El sistema propuesto muestra la capacidad de determinar cambios en las propiedades de muestras de películas delgadas a escala nanométrica, tales como altura del dieléctrico, altura de las capas conductivas, y permitividad dieléctrica de la capa aislante. Se presentan los resultados simulados y medidos experimentalmente de las pruebas resonante y no resonante, y son comparados y discutidos.

The implementation of a Microwave Microscopy (MM) system using an Atomic-Force Microscope (AFM) and a Vector Network Analyzer (VNA) is presented in this thesis report. Resonant and non-resonant probes are designed and fabricated to operate at frequencies from 500 MHz to 6 GHz using reflection losses data only and are integrated into the AFM. A conductive tip is configured at the end of the probes for the measurements. The proposed system shows the capability to determine changes in thin-films properties, such as height of dielectric, height of conductors in the nanometer scale, and dielectric permittivity of insulator layers. Both methods, resonant and non-resonant, are compared and discussed.

Editor

CICESE

Fecha de publicación

2020

Tipo de publicación

Tesis de maestría

Recurso de información

http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/3274

Formato

application/pdf

Idioma

Español

Sugerencia de citación

Pont de la Torre, U.A. 2020. Diseño e implementación de un sistema de análisis de películas delgadas en frecuencias de microondas usando microscopio de fuerza atómica y analizador de redes vectorial. Tesis de Maestría en Ciencias. Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada, Baja California. 60 pp.

Repositorio Orígen

Repositorio Institucional CICESE

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