Título

Two-dimensional optical micro-scanner on silicon technology

Autor

GABRIELA MOLAR VELAZQUEZ

FRANCISCO JAVIER RENERO CARRILLO

WILFRIDO CALLEJA ARRIAGA

Nivel de Acceso

Acceso Abierto

Licencia

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0

Materias

Optical design - (OPTICAL DESIGN) Micro-mirrors - (MICRO-MIRRORS) Micro-optical systems - (MICRO-OPTICAL SYSTEMS) Integrated optics - (INTEGRATED OPTICS) Oslo - (OSLO) CIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRA - (CTI) FÍSICA - (CTI) ELECTRÓNICA - (CTI) ELECTRÓNICA - (CTI)

Resumen o descripción

A two-dimensional optical micro-scanner, which main components are two mobile flat and a concave micro-mirrors, is designed such that, all optical components can be fabricated on the same substratum. The optical parameters, which physical dimensions are between 50 and 500 μm, are obtained within the geometrical optics. The optical performance is evaluated by means of the MTF and Rayleigh resolution criteria, given 80% of modulation for a frequency of 8 cycles/mm with a Gaussian source, the resolution limit is 30 μm.

Editor

Elsevier Gm bH

Fecha de publicación

2010

Tipo de publicación

Artículo

Versión de la publicación

Versión publicada

Recurso de información

http://inaoe.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1009/1445

Formato

application/pdf

Idioma

Inglés

Audiencia

Estudiantes

Investigadores

Público en general

Sugerencia de citación

Molar-Velázquez, G., et al., (2010). Two-dimensional optical micro-scanner on silicon technology, Optik (121): 843–846

Repositorio Orígen

Repositorio Institucional del INAOE

Descargas

447