Título

Estudio de un sensor de microfluidos de alambre caliente con ZnO

Autor

MARINO CONDE GUEVARA

Colaborador

SALVADOR ALCANTARA INIESTA (Asesor de tesis)

NETZAHUALCOYOTL CARLOS RAMIREZ (Asesor de tesis)

Nivel de Acceso

Acceso Abierto

Licencia

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0

Materias

Nanofluidos: propiedades térmicas - (LCC) Microfluidicos - (LCC) Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción - (LCC) Dispositivos de Microfluídicos--Diseño y construcción - (LCC) Biosensores - (LCC) CIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRA - (CTI)

Resumen o descripción

"El estudio de un Sensor de microfluidos tipo Alambre caliente de ZnO, depositado con la técnica de Spray Pirolisis ultrasónico en sustrato de Silicio como es de gran interés por sus aplicaciones, así como la simplicidad de este sensor. El uso del humidificador ultrasónico permite obtener películas con mayor control y calidad, en comparación con otras técnicas de roció [1]. A las películas de ZnO obtenidas con esta técnica se les encontró su Coeficiente de Temperatura Resistiva (CTR); en este trabajo se describe la técnica de depósito de la película delgada, la forma de comprobación para el CTR, la elaboración de una microestructura de Silicio con tecnología Micro-Electromecánicos (MEMS) y se presentan algunos de los resultados de estas películas de ZnO como resistencia variable con el flujo de aire. El propósito de este sensor es para su aplicación en la detección de microfluidos gaseosos."

Benemérita Universidad Autónoma de Puebla

Fecha de publicación

octubre de 2019

Tipo de publicación

Tesis de maestría

Recurso de información

https://hdl.handle.net/20.500.12371/9811

Formato

application/pdf

Idioma

Español

Audiencia

Público en general

Repositorio Orígen

Repositorio Institucional de Acceso Abierto RIAA-BUAP

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