Título
Shallow Levels Characterization in Epitaxial GaAs by Acousto-Optic Reflectance
Autor
MIGUEL TORRES CISNEROS
RAFAEL GUZMAN CABRERA
LUZ ANTONIO AGUILERA CORTES
EDGAR ALVARADO MENDEZ
José Amparo Andrade Lucio
Nivel de Acceso
Acceso Abierto
Materias
CIENCIAS FÍSICO MATEMÁTICAS Y CIENCIAS DE LA TIERRA - (CTI) Semiconductors - ([Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005), ISSN: 2007-9621]) - ([Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005), ISSN: 2007-9621]) Optical reflectance - ([Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005), ISSN: 2007-9621]) - ([Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005), ISSN: 2007-9621]) Shallow levels - ([Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005), ISSN: 2007-9621]) - ([Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005), ISSN: 2007-9621]) Semiconductores - ([Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005), ISSN: 2007-9621]) - ([Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005), ISSN: 2007-9621]) Reflectancia óptica - ([Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005), ISSN: 2007-9621]) - ([Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005), ISSN: 2007-9621]) Niveles superficiales - ([Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005), ISSN: 2007-9621]) - ([Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005), ISSN: 2007-9621])
Resumen o descripción
En este trabajo, utilizamos el espectro de la luz reflejada en una muestra de Arsenuro de Galio (GaAs) bajo la influencia de una onda ultrasónica. El diferencial espectral es calculado como una diferencia entre el espectro del material obtenido bajo la influencia del ultrasonido y aquél obtenido sin dicha influencia. Este diferencial de reflectancia espectral acusto-óptico (AODR) contiene algunas bandas que representan los niveles energéticos de los centros en la superficie de la muestra. Esta técnica está basada en la perturbación de los estados locales generada por el ultrasonido. Particularmente, este trabajo presenta un método para caracterizar los estados locales en la superficie y las interfaces en los cristales, así como estructuras epiteliales de baja dimensión basadas en materiales semiconductores. Para ello, se presenta un modelo teórico para explicar dicho espectro de reflectancia diferencial (AODR). También se realizaron experimentos con estructuras de GaAs epitelial contaminado con Teluro (Te). Los resultados teóricos y experimentales obtenidos muestran que este método es una buena herramienta para caracterizar las trampas superficiales en estructuras epiteliales de semiconductores.
Optical spectra of light reflection are detected under an influence of ultrasonic wave (UW) on a GaAs wafer. The differential spectrum is calculated as a difference between those taken under UW and without that influence on a sample. This acousto-optic differential reflectance (AODR) spectrum contains some bands that represent the energetic levels of the shallow centers in a sample. A physical basis of this technique is related to a perturbation of local states by UW. Here, a method is developed for characterization of local states at the surfaces and interfaces in crystals and low-dimensional epitaxial structures based on microelectronics materials. A theoretical model is presented to explain AODR spectra. Also, experiments using epitaxial GaAs structures doped by Te were made. Finally, theoretical and experimental results show that acousto-optic reflectance is an effective tool for characterization of shallow trapping centers in epitaxial semiconductor structures.
Editor
Universidad de Guanajuato
Fecha de publicación
9 de febrero de 2012
Tipo de publicación
Artículo
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Versión publicada
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Formato
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Fuente
Acta Universitaria. Multidisciplinary Scientific Journal. Vol 15 No 2 (2005)
ISSN: 2007-9621
Idioma
Inglés
Relación
http://www.actauniversitaria.ugto.mx/index.php/acta/article/view/211
Repositorio Orígen
Repositorio Institucional de la Universidad de Guanajuato
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