Título
Caracterización de Spin-on-Glass como dieléctrico de compuerta en dispositivos MOS y como material vehículo para el depósito de HfO2
Autor
ANA LUZ MUÑOZ ROSAS
Colaborador
ALFONSO TORRES JACOME (Asesor de tesis)
JOEL MOLINA REYES (Asesor de tesis)
Nivel de Acceso
Acceso Abierto
Materias
Resumen o descripción
En los últimos 15 años la reducción del espesor del dióxido de silicio (SiO2) como dieléctrico de compuerta en transistores de efecto de campo, ha permitido un escalamiento y mejoramiento en la funcionalidad de los dispositivos [1]. Sin embargo, el límite de escalamiento del espesor del SiO2 es alrededor de 7Å, correspondiente a alrededor de solo dos capas atómicas debajo del cual la banda prohibida del aislante no se forma. Espesores tan delgados permiten que los portadores de carga puedan fluir a través del dieléctrico de compuerta por tuneleo directo, provocando gran corriente de fuga en la compuerta. Una alternativa a tal problemática es el empleo de dieléctricos de alta constante dieléctrica (alta-k) que permitan mantener la misma capacitancia utilizando espesores mayores que el SiO2. Por tanto, se espera que espesores mayores puedan disminuir la corriente de fuga de compuerta.
En este trabajo, se realiza la caracterización de spin-on-glass para el depósito de películas delgadas como dieléctrico de compuerta en dispositivos metal-óxido-semiconductor (MOS), utilizando el método de depósito sol-gel. Con el objetivo de disminuir el espesor de las películas sin perder sus propiedades dieléctricas se diluye el material de spin-on-glass en diferentes solventes. Las películas se analizan física, química y eléctricamente a través de elipsometría, espectroscopía en el infrarrojo y curvas C-V e I-V respectivamente.
Una vez conocidas las propiedades de las películas de spin-on-glass, se explora la viabilidad de emplear este material para el depósito de películas de HfO2 en una solución coloidal, utilizando la técnica sol-gel de depósito. Para realizar lo anterior se experimenta la solubilidad de HfO2 en diferentes solventes. Por último, los resultados se analizan química y eléctricamente.
Editor
Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica
Fecha de publicación
febrero de 2010
Tipo de publicación
Tesis de maestría
Versión de la publicación
Versión aceptada
Recurso de información
Formato
application/pdf
Idioma
Español
Audiencia
Estudiantes
Investigadores
Público en general
Sugerencia de citación
Muñoz-Rosas A.L.
Repositorio Orígen
Repositorio Institucional del INAOE
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