Título
Estudio paramétrico de la obtención de películas delgadas de ZnO obtenidas mediante pulverización catódica reactiva
Autor
OSCAR BERNARDO MORALES JIMENEZ
Nivel de Acceso
Acceso Abierto
Materias
Resumen o descripción
El presente trabajo aborda el efecto que tienen los diferentes parámetros del proceso de pulverización catódica reactiva asistida por magnetrón sobre la orientación, composición y morfología de películas delgadas bicapa de Zn/ZnO. Para llevar a cabo el análisis del efecto de los parámetros se llevó a cabo la variación de un parámetro a la vez con el fin de identificar sus efectos por separado.
Los resultados obtenidos fueron utilizados para determinar experimentalmente los valores de los parámetros que permitirían obtener la mayo orientación (002) de ZnO para el posterior uso de las películas delgadas como sustratos de biosensores de onda acústica de superficie. Los resultados experimentales muestran que la orientación varía de forma no lineal con el
cambio el los parámetros, una relación similar se aprecia con la morfología y el espesor de las películas, sin embargo, la composición no mostró cambios importantes en el rango estudiado.
Mestro en Nanotecnología
Editor
Instituto Tecnológico y de Estudios Superiores de Monterrey
Fecha de publicación
25 de noviembre de 2019
Tipo de publicación
Tesis de maestría
Recurso de información
Formato
application/pdf
Idioma
Español
Audiencia
Investigadores
Repositorio Orígen
Repositorio Institucional del Tecnológico de Monterrey
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