Título

Efecto del limpiador de plasma en la obtención de resultados por microscopía electrónica de transmisión de emisión de campo

Autor

CARLOS ELIAS ORNELAS GUTIERREZ

CESAR LEYVA PORRAS

FRANCISCO ESPINOSA MAGAÑA

FRANCISCO PARAGUAY DELGADO

Nivel de Acceso

Acceso Abierto

Resumen o descripción

La microscopia electrónica es una técnica muy útil en la caracterización de materiales, y particularmente los

microscopios electrónicos de transmisión tienen gran importancia debido a su capacidad para resolver detalles

cada vez más finos, contribuyendo al avance de la ciencia y la tecnología a nivel mundial. En las últimas

décadas los microscopios electrónicos de transmisión con emisión de campo (FETEM) han cobrado gran

interés debido a que mediante ellos es posible obtener un haz de electrones con características muy superiores

a las de un microscopio electrónico de transmisión con filamento termoiónico (TEM), así los FETEM

proporcionan una densidad de corriente del orden de 1010A/Cm2 la cual puede llegar a ser hasta 10, 000 veces

mayor a la de un microscopio convencional con filamento de LaB6. Para dosificar alta densidad de corriente

es necesario mejorar el sistema de vacío, incluso en la misma proporción que la densidad de corriente se

incrementa, en el FETEM el vacío es del orden de 10-8Pa. Estas dos condiciones principalmente son

responsables de que la generación de contaminantes en la rejilla, muestra o en el microscopio, pueda llegar a

depositarse y interferir el estudio en la muestra de interés, formando un recubrimiento (generalmente de

carbón) que incluso imposibilite la observación de la muestra he introduce errores en los análisis

espectroscópicos como EDS e EELS [1-3].

Fecha de publicación

2012

Tipo de publicación

Memoria de congreso

Versión de la publicación

Versión enviada

Formato

application/pdf

Idioma

Español

Repositorio Orígen

Fuente de Objetos Científicos Open Access

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